エックス線マイクロアナライザー

-装置の仕組みと機能-X線マイクロアナライザーは、主に走査型電子顕微鏡（SEM）に組み込まれて使用されています。SEMは、試料を電子ビームで走査し、発生する二次電子や背散電子などを使って画像を生成します。X線マイクロアナライザーは、SEMの電子ビームを使用して試料の元素組成を分析します。電子ビームが試料に衝突すると、試料中の原子は励起されて電子を失い、その結果、特性X線と呼ばれる特定のエネルギーのX線が発生します。この特性X線のエネルギーは元素の種類によって異なるため、X線マイクロアナライザーはこのX線を検出して元素組成を特定することができます。