原子力施設に関すること 照射リグの基礎知識
照射リグとは、半導体や医療機器などの製造に欠かせない装置です。半導体ウエハーや基板に均一に紫外線やX線を照射することで、特定のパターンを形成したり、特性を向上させたりします。照射リグは、通常、光源、露光マスク、露光装置、ステージなどで構成され、それぞれが特定の役割を果たします。光源は紫外線やX線を発生させ、露光マスクは照射パターンを制御し、露光装置は光を対象物に投影します。ステージは対象物を正確に配置し、回転させたり傾けたりして、均一な照射を確保します。照射リグは、高精度で信頼性の高い照射を実現し、半導体産業や医療分野における重要なツールとなっています。